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 壓電陶瓷致動器具有體積小，位移分辨率極高，響應速度快，輸出力大，換能效率高，不發熱，可采用相對簡單的電壓控制方式等特點。但其本身固有的一些特性會影響到工作臺的定位精度和線性度。壓電陶瓷在電場的作用下有兩種效應：逆壓電效應和電致伸縮效應。在電路中，壓電陶瓷具體表現為電容特性。

遲滯特性

壓電陶瓷的升壓和降壓曲線之間存在位移差稱為遲滯現象。

蠕變特性

在一定電壓下，壓電陶瓷的位移達到一定值后隨時間變化，在一段時間后才達到穩定值。 

溫度特性

壓電陶瓷線膨脹系數比一般的金屬材料要小，現以某公司的高壓陶瓷和低壓陶瓷為例：隨著溫度的變化，其線膨脹系數也會有微小的變化。如下圖所示（ LVPZT 為低壓陶瓷， HVPZT 為高壓陶瓷）。